在玻璃、硅单晶、金属板以及高分子膜等载体上的薄膜试样采用衍射测定时,若薄膜试样的厚度小于1000埃,测定是很困难的。采用平行束光路系统,以很小的入射角(1~5°)固定入射试样上,可以增强来自薄膜样品的衍射强度,降低背景峰的干扰。